適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。
該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu),達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了小型化。
口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa 材質(zhì):SUS316L EP級處理
基本結(jié)構(gòu)是由不銹鋼(SUS316)本體(STAINLESS BODY)、前環(huán)(FRONT RING)、后環(huán)(BACK RING)與母螺母(NUT)4部分組成的。
口徑:1/4” ~3/4” 最高使用壓力16.2Mpa 使用溫度范圍:-196~350℃ EP級處理
基本結(jié)構(gòu)是由不銹鋼(SUS316)本體(STAINLESS BODY)、前環(huán)(FRONT RING)、后環(huán)(BACK RING)與母螺母(NUT)4部分組成的。
口徑:1/4” ~3/4” 最高使用壓力16.2Mpa 使用溫度范圍:-196~350℃ EP級處理
基本結(jié)構(gòu)是由不銹鋼(SUS316)本體(STAINLESS BODY)、前環(huán)(FRONT RING)、后環(huán)(BACK RING)與母螺母(NUT)4部分組成的。
口徑:1/4” ~3/4” 最高使用壓力16.2Mpa 使用溫度范圍:-196~350℃ EP級處理