深圳市中控微科技有限公司
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高純氣體管道系統(tǒng)
- 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關(guān)鍵制程環(huán)節(jié)都需要使用各高純氣體。由于高純氣體在生產(chǎn)過程中與產(chǎn)品直接接觸，因此高純氣體輸送系統(tǒng)是集成電路、平板顯示、半導(dǎo)體照明、太陽能光伏和光纖制造等泛半導(dǎo)體行業(yè)中最關(guān)鍵的廠務(wù)系統(tǒng)之一。
- 據(jù)統(tǒng)計(jì)，在導(dǎo)致良品率下降的污染源中，氣體污染占例達(dá)到68%。因此，如何避免輸送過程中系統(tǒng)對(duì)高純氣體的二次污染便成為高純氣體輸送系統(tǒng)的首要考量。
- 半導(dǎo)體行業(yè)所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險(xiǎn)特性。同時(shí)，由于半導(dǎo)體行業(yè)工藝復(fù)雜先進(jìn)，對(duì)高純氣體的質(zhì)量保障和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行提出了嚴(yán)苛的要求。因此，在超高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝和運(yùn)行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩(wěn)定性等關(guān)鍵因素。
- 高純氣體輸送系統(tǒng)在系統(tǒng)開機(jī)調(diào)試之前必須通過保壓測(cè)試、氦檢漏測(cè)試、水分增量測(cè)試、氧分增量測(cè)試、顆粒度增量測(cè)試來保證系統(tǒng)的高潔凈度和高安全度。
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