深圳市中控微科技有限公司
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大宗氣體管道系統
- 氣體按用量的大小可分為二種，用量較大的稱為大宗氣體，用量較小的稱為特種氣體。
- 大宗氣體有：氮氣、氧氣、氫氣、氬氣和氦氣。其中氮氣在整個工廠中用量最大，依據不同的質量需求，又分為普通氮氣和工藝氮氣。
- 大宗氣體系統由供氣系統和輸送管道系統組成，其中供氣系統又可細分為氣源、純化和品質監測等幾個部分。通常在設計中將氣源設置在獨立于生產廠房（FAB）之外的氣體站（Gas Yard），而氣體的純化則往往在生產廠房內專門的純化間（Purifier Room）中進行，這樣使高純氣體的管線盡可能的短，既保證氣體的品質，又節約成本。
- 經純化后的大宗氣體由管道從氣體純化間輸送至輔道生產層（SubFAB）或生產車間的架空地板下，在這里形成配管網絡，最后由二次配管系統（Hook-up）送至各用戶點
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